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    • 专利摘要:
    本發明之閘閥，係將閥板以連結板固定於閥桿之前端的閥板安裝部，且利用該閥板來開閉閥箱之連通孔，上述閥板，係具有可供上述閥桿之閥板安裝部插入的安裝孔，而在該安裝孔之孔面與上述閥板安裝部之外面係形成有可相互壓接的接合平面，上述閥桿，係在上述閥板安裝部之基端側的位置，具有供上述閥板之基端側端部嵌合的凹狀接合段部，且在該接合段部，形成有將上述閥板導引至上述接合平面彼此可相互壓接之方向的傾斜面，上述連結板，係在將上述閥板朝向上述閥板安裝部之基端側按壓的狀態下相互地連結該閥板與上述閥桿。
    公开号:TW201309951A
    申请号:TW101113770
    申请日:2012-04-18
    公开日:2013-03-01
    发明作者:Hiromi Shimoda；Hiroshi Ogawa
    申请人:Smc Corp；
    IPC主号:F16K3-00
    专利说明:
    閘閥
    本發明係關於一種連接於半導體製造裝置等的處理腔室(chamber)，並對通至該處理腔室的流體流路或物品移送路等之連通路進行開閉的閘閥(gate valve)。
    在專利文獻1及2中，已有揭示一種連接於半導體製造裝置等的處理腔室，並以閥箱之內部的閥板來開閉通至該處理腔室的連通路之閘閥。在這樣的閘閥中，由於上述閥板的密封構件容易因流動於上述連通路的處理氣體(process gas)等之腐蝕性流體而損傷，所以有必要將該密封構件適當地交換成新品。
    為了容易進行該密封構件之交換，在上述專利文獻1及2所記載的閘閥中，為了能夠取出上述閥板，而使閥箱之上端開口，換句話說使「可供用以使閥箱中之上述閥板進行開閉動作的閥桿導入之側的相反側之面」開口，並以板狀的蓋體對其形成開閉自如，而且藉由開放該蓋體，而能夠從該開口側取出閥桿之前端的閥板，並可從閥箱輕易地取出該閥板。
    可是，閥板對上述閥桿的裝卸構造，由於被限制在可從閥箱之上端的開口容易進行裝卸操作的範圍，所以要將閥板穩定地安裝於閥桿之前端方面有困難性，或是有如以下所述的各種問題。
    例如，在專利文獻1的閘閥中，係使安裝於閥桿的板簧構件之凸部卡合於閥板之開口部，且藉由其彈力(elasticity)使閥板卡接於閥桿(該文獻1之第4圖及第5圖)、或是在裝配於閥板之孔部的閥桿之前端的安裝部設置傾斜面，且將卡合於該傾斜面和閥板之內側面的楔形構件以螺釘構件鎖緊固定在上述閥桿之前端(該文獻1之第8圖及第9圖)。
    在上述文獻的第4圖及第5圖之構成中，雖然閥板之裝卸較為簡便，但由於是以板簧構件之彈力來固定，所以在閥板之密封構件(O型環)固設於閥座時也有板簧構件變形而導致揚塵、或閥板從閥桿脫離的可能性，又在上述文獻的第8圖及第9圖之構成中，由於其為僅在閥桿之前端的固定，所以也有閥板以傾斜方式進行安裝的可能性，並不見得可使閥板正確地面對閥箱之連通路並穩定地進行固定。
    並且，在上述專利文獻2之閘閥中，雖然是構成為：在插入於閥板之接合器(receptacle)的閥桿之前端的連接部設置徑向軸承(radial bearing)部和旋轉角限制部，其中在上述徑向軸承部中係能夠使閥板相對於閥桿旋轉，並在閥板按壓於閥座時使該閥板配合閥座而變形，而在旋轉角限制部中構成：將徑向軸承部可能的旋轉限制在預定之角度範圍，但是此構造也非為可使閥板正確地面對閥箱之連通路並穩定地進行固定的構造。
    (專利文獻1)日本特開2002-195424號公報
    (專利文獻2)日本特開2005-291221號公報
    上述閥板，雖然本來是期待對閥桿以適當的姿勢來穩固地固定，但是此並非期望採用高精度之加工且高強度的固定手段，而是在可從閥箱之上端的開口輕易地進行裝卸操作的範圍內，儘可能地以適當的姿勢來穩固地固定的手段，雖然其為也能夠避開揚塵等之問題的構造，卻也要求採用簡單且能安裝成穩定姿勢的裝卸構造。
    本發明之技術課題在於：針對以閥板開閉通至處理腔室的閥箱之連通路的閘閥，提供一種可符合上述要求的構造，更具體而言，係在於提供一種閘閥：其係以利用楔入效應等之簡單的安裝構造，穩固地固定閥桿之閥板安裝部中的基端側及前端側，而且使彼此面對面的閥板與閥桿之接合平面相互地強力密接，藉此使閥板之姿勢穩定化。
    為了解決上述課題，依據本發明，可提供一種閘閥，其具有：閥箱，其係具備連通於處理腔室的連通孔；及閥板，其係安裝於閥桿之前端的閥板安裝部並容納於上述閥箱內，且使密封構件對上述連通孔之周圍進行連接分離以開閉該連通孔；及上述閥桿，其係使該閥板位移至開放及關閉上述連通孔的位置；及連結板，其係連結上述閥板與閥桿；及開口，其係為了上述閥板之取出而形成於上述閥箱；以及蓋體，其係覆蓋該開口且可裝卸自如。
    在上述閘閥中，上述閥板，係具有可供上述閥桿之閥板安裝部插入的安裝孔，且在該安裝孔之孔面與上述閥板安裝部之外面，分別形成有當以上述連結板來連結上述閥板與上述閥桿時可相互壓接的接合平面。上述閥桿，係在上述閥板安裝部之基端側的位置，具有供上述閥板之基端側端部嵌合的凹狀接合段部，且在該接合段部，形成有供上述閥板之基端側端部抵接的傾斜面，該傾斜面，係藉由楔入效應使上述閥板位移至該閥板及上述閥桿之上述接合平面彼此可相互壓接之方向。又，上述連結板，係在將上述閥板朝向上述閥板安裝部之基端側按壓的狀態下相互地連結該閥板與上述閥桿。
    在本發明中，較佳為：上述接合段部之傾斜面，係對上述閥桿之上述接合平面形成銳角交叉的平面，又較佳為：在上述閥板之基端側端部抵接於上述傾斜面的部分，形成有與該傾斜面呈平行的抵接面。
    又，在本發明中，較佳為：上述連結板，係具有：固定於上述閥板的第1板部；以及固定於上述閥桿之閥板安裝部的第2板部，而上述閥桿中的上述閥板安裝部之前端面，係相對於上述閥板之前端側端面位在後退至上述安裝孔內的位置，藉由將上述連結板之第1板部以螺釘固定於上述閥板之前端側端面，並且將上述第2板部以螺釘固定於上述閥板安裝部之前端面，上述閥板可朝向上述閥板安裝部之基端側按壓。
    在具有上述構造的閘閥中，當為了進行密封構件之交換等而從閥箱之開口取出閥板時，藉由拆下該開口之蓋體，且拆下固定閥桿與連結板的螺釘，可將該閥板與上述連結板一起從閥桿之前端側的閥板安裝部拆下，且通過上述開口而從閥箱取出。
    又，當將上述閥板安裝於閥桿之前端部時，係在將上述連結板以螺釘固定於閥板之前端側端面的狀態下，以閥桿與閥板之兩接合平面呈面對面，而閥桿之閥板安裝部被插入於該閥板之安裝孔內的方式將該閥板收在閥箱。此時，將上述閥桿與閥板之接合平面合在一起，並成為：在閥桿之閥板安裝部的基端側之接合段部內壓入上述閥板之基端側端部，且以取決於傾斜面之楔入效應使閥桿與閥板之接合平面彼此強力地壓接的狀態，進而將以螺釘固定於上述閥板的連結板也以螺釘固定於閥桿之前端部，藉此可穩固地連結閥桿與閥板。
    此時，藉由在上述連結板設置壓接機構，如以下所詳述般，即便是在閥板與閥桿之前端側也能夠相互地強力壓接上述兩接合平面。
    在上述壓接機構之第1例中，係構成為：在上述第2板部之端部，具有抵接於上述閥桿之閥板安裝部的端部之傾斜部，且該傾斜部，係產生上述閥板與閥桿之接合平面彼此可相互壓接之方向的分力。在此情況下，較佳為：在上述閥板安裝部之端部之供上述第2板部之傾斜部抵接的部分，形成有與該傾斜部呈平行的傾斜部。然後，當將上述連結板以螺釘固定於閥桿之前端部並將上述傾斜部按壓於閥桿時，閥桿可藉由取決於楔入效應之上述分力而壓接於閥板側，且閥板與閥桿之接合平面可相互地更強力壓接。
    因而，上述閥桿與閥板，係可以利用楔入效應等之簡單的構造，在閥桿之閥板安裝部中的基端側及前端側穩固地固定接合平面。
    作為上述壓接機構之第2例，亦可具有：形成於上述第2板部之中間部的伸縮自如之彈性彎曲部；以及形成於該第2板部之前端部並卡合於上述閥桿的前端卡合部，當將上述第2板部以螺釘固定於上述閥桿時，上述閥板與閥桿之接合平面彼此可藉由上述彈性彎曲部伸展而相互壓接。
    在該第2壓接機構中，係在將連結板之第2板部的中間部以螺釘固定於閥桿之前端部時，上述彈性彎曲部會伸展，並以該伸展力使閥桿之前端部壓接於閥板內面，且與上述第1壓接機構的情況同樣，可在閥桿之閥板安裝部中的基端側及前端側穩固地壓接接合平面，並形成固定。
    在本發明中，較佳為：形成於上述連結板之第2板部的螺釘插通孔，係具有可吸收將該第2板部以螺釘固定於上述閥桿時之該第2板部與上述閥桿之相對偏移的尺寸餘裕度。
    如上述般依據本發明之閘閥，可獲得以下的閘閥：以利用楔入效應等之簡單的安裝構造，穩固地固定閥桿之閥板安裝部中的基端側及前端側，而且使彼此面對面的閥板與閥桿之接合平面相互地強力密接，藉此使閥板之姿勢穩定化。

    第1圖至第3圖係顯示本發明之閘閥的第1實施例。該閘閥，係連接於半導體製造裝置等中的處理腔室等而使用者，其在閥箱1之前壁1a具備連通於該處理腔室等的連通孔2，且在配設於該閥箱1內並開閉該連通孔2的閥板6之前面的密封面6a，設置有與該連通孔2之周圍的閥座部2a連接分離的密封構件(O型環)7。
    上述閥板6，是可裝卸地安裝於「形成在閥桿9之前端」的閥板安裝部10，上述閥桿9，係由省略圖示的驅動機構所驅動並使上述閥板6位移至開放及關閉上述連通孔2的位置。當更具體說明時，上述閥桿9，係形成圓柱狀，且其前端部穿過上述閥箱1之底壁而導入該閥箱1內，並以上述驅動機構來驅動，藉此從「開設於上述閥箱1之前壁1a的上述連通孔2周圍的閥座部2a被上述閥板6的密封構件7所密封」的關閉位置，如第1圖所示，使該閥板6的密封構件7從閥座部2a分離，並在該閥板6傾動至「成為面對上述連通孔2之狀態」的後退位置後，使上述閥板6位移至「從第1圖下方的該連通孔2完全分離」的開放位置。另外，此種驅動機構，由於是習知以來極為一般所周知之物，所以省略其更具體的說明。
    又，上述閥箱1，係在相對於上述前壁1a的後壁1b，具備與該前壁1a之連通孔2相對向的連通孔3，且藉此在該閥箱1內，形成有從上述前壁1a之連通孔2穿通後壁1b之連通孔3並直線地連通至其他的腔室或流體機器等的通路。此外，在該閥箱1之上面、換句話說在上述閥桿9被導入該閥箱1之側的相反側之面，形成有可從閥桿9拆下上述閥板6並取出至外部的開口4，且在該開口4開閉自如地被覆設置有板狀之蓋體5。
    為了將上述閥板6安裝於閥桿9之前端側的上述閥板安裝部10，而在該閥板6，以向圖之上下貫通該閥板6的方式形成有可供上述閥板安裝部10插入的安裝孔8。該安裝孔8，係剖面形狀為矩形之孔，並具有互為平行的前後之孔面8a、8b，此中前方之孔面即相對於上述密封面6a呈背向的孔面8a，係抵接於上述閥板安裝部10之接合平面10a的接合平面8a。
    另一方面，上述閥桿9之前端的上述閥板安裝部10，係如第1圖及第3圖所示，藉由將形成圓柱狀的該閥桿9之前端部分，在與上述閥箱1之前壁1a呈平行且為相互平行的2個平面10a、10c進行切除而平面化者，且將上述2個平面10a、10c之中朝向前方的平面即朝向前述連通孔2的平面10a，形成緊密抵接於上述閥板6之安裝孔8的上述接合平面8a的上述接合平面10a。
    另外，在將上述閥板安裝部10插入閥板6之上述安裝孔8內時，該閥板安裝部10之前端面9a，並不會從上述安裝孔8朝向外部突出，而是占據相對於上述閥板6之前端側端面6c稍微後退至上述安裝孔8之內方的位置。
    然後，在上述閥桿9中的上述閥板安裝部10之基端側的位置，係形成有具有傾斜面11的凹狀之接合段部10b，且使上述閥板6的基端側端部6b嵌合於該接合段部10b，藉由將該閥板6朝向下方按壓並使該基端側端部6b之傾斜的抵接面6e壓接於上述傾斜面11，可在以楔入效應使上述閥板6之接合平面8a與閥桿9之接合平面10a相互壓接的狀態下，使該閥板6連結於上述閥桿9。
    上述傾斜面11，是越朝向上述閥桿9的基端側，就越朝向接近上述接合平面10a之方向傾斜的平面，一般而言，雖然是構成為對上述接合平面10a形成銳角(較佳為45度)交叉的單一傾斜平面，但是並非被限定於此，可在將閥板6之基端側端部6b按壓於上述閥桿9之接合段部10b時，形成其按壓力之分力使上述閥板6與閥桿9之接合平面8a、10a相互壓接的形狀及角度。
    又，為了相互固定上述閥板6與上述閥桿9，而設置有連結板14。如第2圖所示，該連接板14，其一體地具有「用來固定於上述閥板6之前端側端面6c」的第1板部14a、及「用來固定於上述閥桿9之前端面9a」的第2板部14b的俯視形狀，形成凸形，且藉由將上述第1板部14a與第2板部14b分別以螺釘16、15固定於上述閥板6之前端側端面6c與上述閥桿9之前端面9a，而將上述閥板6與閥桿9予以互相連結。該連結板14，較佳是金屬製且具有彈性。藉由上述連結板14之安裝，可將上述閥板6向下(閥桿之基端方向)按壓並將基端側端部6b壓入閥桿9之上述接合段部10b內，同時由於設在該連結板14的壓接機構將上述閥板6朝閥板安裝部10的接合平面10a側按壓，故而上述閥板6與閥桿9，係可在上述接合平面8a、10a彼此相互壓接的狀態下連結。
    作為上述壓接機構，在上述第1實施例中，係在上述連結板14中的第2板部14b之前端部下面形成傾斜部14c，並且在上述閥桿9之背向上述接合平面10a的平面10c之上端部，藉由傾斜地切除該上端部而形成面對於上述傾斜部14c的傾斜部10d。這些傾斜部14c、10d，較佳是與上述抵接面6e及傾斜面11呈平行。藉由該構造，當以螺釘16、15將上述連結板14固定於閥板6與閥桿9時，藉由上述連結板14之傾斜部14c與閥桿9之傾斜部10d相互壓接，就會產生相互壓接該閥板6與閥桿9之兩接合平面8a、10a的方向之分力，且上述閥板6與閥桿9即便是在上述接合平面8a、10a之前端側也可相互壓接。
    作為上述連結板14，並不限於上述第1實施例之構造，例如也可採用如第4圖所示的變化例之構造。該第4圖之變化例與上述第1實施例的差異點係在於：在連結板14中的閥板6之密封面6a側的端部，具備有與設置於該閥板6之前端側端面6c之凹槽6d卡合的彎曲部14d。該彎曲部14d，係形成於該第1板部14a中「除了在第1板部14a之兩端安裝有2個螺釘16之部分以外」的中間部分。
    在上述第1實施例及變化例之連結板14中，在將該連結板14以插通於插通孔14e的螺釘15固定於閥桿9之前端面9a時，由於會在該連結板14與前端面9a之間產生相對的偏移移動，所以較佳為：藉由將位在該連結板14之第2板部14b的上述插通孔14e，形成遠大上述螺釘15之直徑的孔徑或是形成長孔等之方法，使該插通孔14e，具有可完全吸收上述連結板14與閥桿9之前端面9a之相對偏移移動的尺寸餘裕度。
    另外，上述變化例之其他的構成及作用，由於與上述第1實施例之情況並無不同之處所以省略其等的說明。
    在具有上述構造的閘閥中，當為了進行密封構件7之交換等而將閥板6從閥箱1取出時，藉由拆下該閥箱1之蓋體5，且鬆開將連結板14之第2板部14b固定於閥桿9之前端面9a的螺釘15並從該閥桿9拆下，可將上述閥板6與連結板14一起從閥桿9之前端側的閥板安裝部10拆下，且通過閥箱1之開口4而取出。
    又，在將上述閥板6安裝於閥桿9之前端面9a時，如第3圖所示，在將上述連結板14以螺釘16固定於該閥板6之前端側端面6c的狀態下，以將該閥板6之方向朝向於該閥板6與閥桿9之接合平面8a、10a彼此面對面的方向，並在該閥板6之安裝孔8內插入上述閥桿9之閥板安裝部10的方式來將該閥板6容納於閥箱1。然後，如第1圖所示，在將上述閥板6與閥桿9之接合平面8a、10a合在一起的狀態下，使該閥板6之基端側端部6b嵌合於上述閥桿9之閥板安裝部10的基端側之接合段部10b內，並且使該閥板6之基端的抵接面6e抵接於上述接合段部10b之傾斜面11，且在此狀態下，將以螺釘16固定於上述閥板6的上述連結板14以螺釘15固定於閥桿9之前端面9a。藉此，該閥板6會被向下按壓並在上述抵接面6e被壓接於上述傾斜面11的同時，上述閥板6可利用由上述連結板14之傾斜部14c與閥桿9之傾斜面10d所構成的壓接機構朝向閥板安裝部10之接合平面10a側按壓，故而該閥板6可在該閥板6與閥桿9之接合平面8a、10a彼此相互地強力壓接的狀態下穩固地固定於上述閥桿9。
    作為上述壓接機構，也可採用上述第1實施例以外的構造。第5圖及第6圖係顯示將上述壓接機構之構造形成不同的第2實施例之閘閥的主要部分，而該閘閥，係具備以螺釘26固定於上述閥板6之前端側端面6c之如第6圖所示的連結板24。該連結板24，係將用以固定於閥板6的第1板部24a在俯視觀察下形成凹狀，並且將用以固定於閥桿9的第2板部24b，以沿著上述閥桿9之前端面9a朝向閥板6之密封面6a的方向突出的方式從上述第1板部24a之一部分形成於凹部內，且藉由全體具有彈性的金屬板一體地形成。
    上述第2板部24b，係藉由在中間部設置向上突出之能夠彈性地伸縮的彈性彎曲部24d而形成板簧狀，並在前端部具有與閥桿9之前端面9a的凹槽9b卡合的前端卡合部24c，在以插通於插通孔24e的螺釘25將該第2板部24b固定於閥桿9之前端面9a時，以上述彈性彎曲部24d伸展成平坦或接近平坦之狀態的方式所形成，並可藉由該第2板部24b構成上述壓接機構。又，在上述插通孔24e，係具有：可吸收將上述第2板部24b以上述螺釘25固定於閥桿9之前端面9a時之該第2板部24b與上述閥桿9之前端面9a之相對偏移移動的尺寸餘裕度。
    上述連結板24，係當將上述第2板部24b在彈性彎曲部24d之位置以螺釘25固定於閥桿9之前端面9a時，該彈性彎曲部24d就會伸長成直線狀，由於前端卡合部24c會利用該伸長力而起了相互壓接閥板6與閥桿9之接合平面8a、10a的方向之力的作用，所以利用上述連結板24之第2板部24b對閥桿9之前端面9a的螺釘固定，閥板6與閥桿9之接合平面8a、10a就會相互地強力壓接。因而，上述閥桿9與閥板6係可以簡單的安裝構造在閥桿9之閥板安裝部10中的基端側及前端側穩固地固定接合平面8a、10a。該第2實施例中的其他構造及作用，係與前述第1實施例並無不同之處。
    1‧‧‧閥箱
    1a‧‧‧前壁
    1b‧‧‧後壁
    2‧‧‧連通孔
    2a‧‧‧閥座部
    3‧‧‧連通孔
    4‧‧‧開口
    5‧‧‧蓋體
    6‧‧‧閥板
    6a‧‧‧密封面
    6b‧‧‧基端側端部
    6c‧‧‧前端側端面
    6d‧‧‧凹槽
    7‧‧‧密封構件
    8a、10a‧‧‧接合平面
    8b‧‧‧孔面
    9‧‧‧閥桿
    9a‧‧‧前端面
    10‧‧‧閥板安裝部
    10c‧‧‧平面
    10b‧‧‧接合段部
    11‧‧‧傾斜面
    14、24‧‧‧連結板
    14a、24a‧‧‧第1板部
    14b、24b‧‧‧第2板部
    14c、10d‧‧‧傾斜部
    14d‧‧‧彎曲部
    14e、24e‧‧‧插通孔
    15、16、25‧‧‧螺釘
    24c‧‧‧前端卡合部
    24d‧‧‧彈性彎曲部
    第1圖係顯示本發明之閘閥的第1實施例之基本構成的主要部分剖視圖。
    第2圖係上述第1實施例的連結板之俯視圖。
    第3圖係上述第1實施例的主要部分分解立體圖。
    第4圖係顯示上述第1實施例之變化例的主要部分剖視圖。
    第5圖係本發明之閘閥的第2實施例之主要部分剖視圖。
    第6圖係上述第2實施例的連結板之俯視圖。
    1‧‧‧閥箱
    1a‧‧‧前壁
    1b‧‧‧後壁
    2‧‧‧連通孔
    2a‧‧‧閥座部
    3‧‧‧連通孔
    4‧‧‧開口
    5‧‧‧蓋體
    6‧‧‧閥板
    6a‧‧‧密封面
    6b‧‧‧基端側端部
    6c‧‧‧前端側端面
    6e‧‧‧抵接面
    7‧‧‧密封構件
    8‧‧‧安裝孔
    8a、10a‧‧‧接合平面
    8b‧‧‧孔面
    9‧‧‧閥桿
    9a‧‧‧前端面
    10‧‧‧閥板安裝部
    10b‧‧‧接合段部
    10c‧‧‧平面
    10d、14c‧‧‧傾斜部
    11‧‧‧傾斜面
    14‧‧‧連結板
    15、16‧‧‧螺釘
    权利要求:
    Claims (10)
    [1] 一種閘閥，其特徵為具有：閥箱，其係具備連通於處理腔室的連通孔；及閥板，其係安裝於閥桿之前端的閥板安裝部並容納於上述閥箱內，且使密封構件對上述連通孔之周圍進行連接分離以開閉該連通孔；及上述閥桿，其係使該閥板位移至開放及關閉上述連通孔的位置；及連結板，其係連結上述閥板與閥桿；及開口，其係為了上述閥板之取出而形成於上述閥箱；以及蓋體，其係覆蓋該開口且可裝卸自如，上述閥板，係具有可供上述閥桿之閥板安裝部插入的安裝孔，且在該安裝孔之孔面與上述閥板安裝部之外面，分別形成有當以上述連結板來連結上述閥板與上述閥桿時可相互壓接的接合平面，上述閥桿，係在上述閥板安裝部之基端側的位置，具有供上述閥板之基端側端部嵌合的凹狀接合段部，且在該接合段部，形成有供上述閥板之基端側端部抵接的傾斜面，該傾斜面，係藉由楔入效應使上述閥板位移至該閥板及上述閥桿之上述接合平面彼此可相互壓接之方向，上述連結板，係在將上述閥板朝向上述閥板安裝部之基端側按壓的狀態下相互地連結該閥板與上述閥桿。
    [2] 如申請專利範圍第1項所述的閘閥，其中，上述接合段部之傾斜面，係對上述閥桿之上述接合平面形成銳角交叉的平面。
    [3] 如申請專利範圍第1或2項所述的閘閥，其中，在上述閥板之基端側端部抵接於上述傾斜面的部分，形成有與該傾斜面呈平行的抵接面。
    [4] 如申請專利範圍第1或2項所述的閘閥，其中，上述連結板，係具有：固定於上述閥板的第1板部；以及固定於上述閥桿之閥板安裝部的第2板部，而上述閥桿中的上述閥板安裝部之前端面，係相對於上述閥板之前端側端面位在後退至上述安裝孔內的位置，藉由將上述連結板之第1板部以螺釘固定於上述閥板之前端側端面，並且將上述第2板部以螺釘固定於上述閥板安裝部之前端面，上述閥板可朝向上述閥板安裝部之基端側按壓。
    [5] 如申請專利範圍第4項所述的閘閥，其中，上述連結板，係具備：將上述閥板朝向該閥板及上述閥桿之上述接合平面彼此可相互壓接之方向按壓的壓接機構。
    [6] 如申請專利範圍第5項所述的閘閥，其中，上述壓接機構，係在上述第2板部之端部，具有抵接於上述閥桿之閥板安裝部的端部之傾斜部，且該傾斜部，係產生上述閥板與閥桿之接合平面彼此可相互壓接之方向的分力。
    [7] 如申請專利範圍第6項所述的閘閥，其中，在上述閥板安裝部之端部之供上述第2板部之傾斜部抵接的部分，形成有與該傾斜部呈平行的傾斜部。
    [8] 如申請專利範圍第5項所述的閘閥，其中，上述壓接機構，係具有：形成於上述第2板部之中間部的伸縮自如之彈性彎曲部；以及形成於該第2板部之前端部並卡合於上述閥桿的前端卡合部，當將上述第2板部以螺釘固定於上述閥桿時，上述閥板與閥桿之接合平面彼此可藉由上述彈性彎曲部伸展而相互壓接。
    [9] 如申請專利範圍第6項所述的閘閥，其中，形成於上述連結板之第2板部的螺釘插通孔，係具有可吸收將該第2板部以螺釘固定於上述閥桿時之該第2板部與上述閥桿之相對偏移的尺寸餘裕度。
    [10] 如申請專利範圍第8項所述的閘閥，其中，形成於上述連結板之第2板部的螺釘插通孔，係具有可吸收將該第2板部以螺釘固定於上述閥桿時之該第2板部與上述閥桿之相對偏移的尺寸餘裕度。
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